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    氣體知識

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    電子四氟化碳CF4氣體性質

    2017-12-4 10:49:49

    0
    質量標準:
    分子式:CF4    分子量:88
     項目 含量單位

     CF4 ≥99.999 %V
     O2+Ar ≤1 ppmv
     N2 ≤4 ppmv
     CO2 ≤1 ppmv
     CO ≤1 ppmv
     SF6 ≤1 ppmv
    Other Halocarbons
     ≤1 ppmv
     H2O ≤1 ppmv
    Acidity(HF)
     ≤0.1 ppmv

    性狀:
    四氟化碳為永久氣體,在常溫常壓下為無色無臭的氣體。空氣中不燃燒,是比較穩(wěn)定的無毒物質。
    用途:
    四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體,可廣泛應用于電子器件表面清洗,印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。
    貯存:
    陰涼通風、遠離熱源、倉溫不宜超過30℃,空瓶、滿瓶應分開存放。
    運輸:
    四氟化碳的運輸應符合《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》的相關規(guī)定。
    包裝:
    應充裝在經(jīng)特殊處理的潔凈、干燥的無縫高壓氣瓶中,氣瓶容積一般為40L、12.5L、10L、8L、4L等,也可根據(jù)用戶需要選用各種容積的氣瓶或其它容器。
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