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六氟化硫氣體除在合成過程中產生的雜質外，在氣體的充裝過程中還可能混入少量的空氣、水分、和礦物油等雜質，這些雜質均帶有或會產生一定的毒性物質。因此，為保證純度和質量，對出廠的六氟化硫均制定了質量標準，并要求生產廠家在供貨時提供生物試驗無毒證明書。

1、電器設備內的SF6氣體在高溫電弧發生作用時而產生的某些有毒產物。

例如：SF6氣體在電弧中的分解和與氧的反應：會生成氟化亞硫酰、四氟化硫酰、氟化硫酰等有毒物質。

2、電器設備內的六氟化硫氣體分解物與其內的水分發生化學反應而生成某些有毒產物。

例如：SF6氣體分解物與水的繼發性反應生成氫氟酸、二氧化硫、硫酸等

3、電器設備內的六氟化硫氣體及分解物與電極(Cu-W 合金)及金屬材料(AL、Cu)反應而生成某些有毒產物。

例如：六氟化硫氣體及分解物與電極或其它材料反應： ALF3(固態粉末)ALF3(固態粉末)CuF2(固態粉末) 等固態粉末

4、電器設備內的SF6氣體及分解物與絕緣材料反應而生成某些有毒產物。如與含有硅成分的環氧酚醛玻璃絲布板(棒、管)等絕緣件;或以石英砂、玻璃作填料的環氧樹脂澆注件、模壓件以及瓷瓶、硅橡膠、硅脂等起化學作用，生成SiF4、Si(CH3)2F2等產物。

以上這些六氟化硫氣體高溫分解的產物都會導致六氟化硫氣體純度不純的問題。我們在選購的時候首先要避免，找正規廠家購買，并附帶產品檢測報告。