1、用做電氣絕緣介質
六氟化硫主要用做電氣絕緣介質，六氟化硫可以使電器設備小型輕量化且運行安全可靠，同時還可以降低設備造價。用六氟化硫作為絕緣介質的電力設備主要有變壓器和斷路器。大功率的變壓器大多使用六氟化硫做絕緣介質，一些小型六氟化硫已廣泛用做各種研究和工業用儀器的輔助部件。
2、作為大氣污染研究的示蹤劑
為了研究污染物在大氣中的傳送和擴散規律，人工釋放示蹤劑于大氣中，然后在下風方向進行追蹤測定，從而驗證和發展大氣擴散理論，建立大氣污染濃度估算模式。六氟化硫作為示蹤劑的優點很多，六氟化硫在常溫下的化學惰性強，光照下穩定性高，難溶于水，能隨大氣運動，無沉降無毒。加之其釋放、采取和分析方法簡單，因而成為當前較理想、應用較廣的一種大氣示蹤劑。
3、在半導體器件生產加工工藝中的應用
氟化物氣體被廣泛應用于半導體加工工藝中。由高純硅組成的晶片是半導體工業的基礎。可用蝕刻后的腔體清洗沉積在化學氣相沉積腔體中，為了防止晶片在下一步驟中被沉積物污染，腔體必須在一定的間隔時間內進行清洗，為了保護環境，六氟化硫可以循環使用。